[实用新型]传送托盘有效
| 申请号： | 201821215568.5 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208706603U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 杨小兵 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种传送托盘，包括：基板本体，所述基板本体包括基板及设置于所述基板上的弹性垫；磁性吸附部件，所述磁性吸附部件设置于所述弹性垫上。本实用新型提供的传送托盘设置弹性垫，弹性垫可以缓冲层叠组件在转运过程中的机械震动，防止转运过程中由于机械震动产生位移，需要重新调整层叠组件各层间的位置，有效节省了人工作业及操作时间，有效提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性垫 托盘 磁性吸附部件 本实用新型 层叠组件 基板本体 机械震动 传送 基板 转运 人工作业 生产效率 重新调整 缓冲 层间 | ||
【主权项】：
1.一种传送托盘，其特征在于，包括：基板本体，所述基板本体包括基板(6)及设置于所述基板(6)上的弹性垫(4)；磁性吸附部件，所述磁性吸附部件(3)设置于所述弹性垫(4)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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