[实用新型]一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备有效
| 申请号： | 201821205931.5 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208776870U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张虎威 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/40;C30B29/48 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及隔热技术领域，尤其涉及一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备。该隔热装置包括支撑板、在所述支撑板上从上到下间隔设置的至少一层反射板、以及冷却水管，所述冷却水管设置在所述支撑板与所述反射板之间，和/或所述冷却水管设置在相邻的两层所述反射板之间。本实用新型所述的隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备，将反射板与冷却水管相结合进行分层隔热，实现了高温加热区域与非加热区域的有效隔离，提升了隔热效率，结构简单，降低了加工难度，同时降低了冷却时对热量造成的损失，进而提升了加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热装置 冷却水管 反射板 支撑板 本实用新型 高温加热区域 从上到下 分层隔热 隔热技术 隔热效率 加热区域 加热效率 间隔设置 有效隔离 两层 与非 冷却 加工 | ||
【主权项】：
1.一种隔热装置，其特征在于：包括支撑板、在所述支撑板上从上到下间隔设置的至少一层反射板、以及冷却水管，所述冷却水管设置在所述支撑板与所述反射板之间，和/或所述冷却水管设置在相邻的两层所述反射板之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技（北京）有限公司，未经东泰高科装备科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821205931.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
