[实用新型]一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备

说明书

本实用新型涉及隔热技术领域，尤其涉及一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备。该隔热装置包括支撑板、在所述支撑板上从上到下间隔设置的至少一层反射板、以及冷却水管，所述冷却水管设置在所述支撑板与所述反射板之间，和/或所述冷却水管设置在相邻的两层所述反射板之间。本实用新型所述的隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备，将反射板与冷却水管相结合进行分层隔热，实现了高温加热区域与非加热区域的有效隔离，提升了隔热效率，结构简单，降低了加工难度，同时降低了冷却时对热量造成的损失，进而提升了加热效率。

技术领域

本实用新型涉及隔热技术领域，尤其涉及一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备。

背景技术

金属有机物化学气相沉积，其英文名称为Metal-organic Chemical VaporDeposition，缩写为MOCVD，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种化学气相沉积工艺，用于生长外延晶片。它是以III族、II族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长的反应气体，以热分解反应方式在蓝宝石衬底或其他衬底上进行外延沉积工艺，生长各种III-V族、II-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的外延材料层。通常MOCVD的生长条件是在低压(1000-10000pa)下进行，生长使用的载气(通常为N2或H2)与原料气体按一定比例混合通入反应腔内，衬底温度一般在700-1500K之间。

目前，现有的MOCVD设备中的隔热装置，其结构形式较为有限，主要是在腔室壁上设置水道进行冷却隔热，然而这种隔热方式存在以下几点缺陷：1、在冷却的同时，消耗了加工功率，无法维持正常的加工功率；2、水道结构复杂，加工难度大。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备，能够实现高温加热区域与非加热区域的有效隔离。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种隔热装置，包括支撑板、在所述支撑板上从上到下间隔设置的至少一层反射板、以及冷却水管，所述冷却水管设置在所述支撑板与所述反射板之间，和/或所述冷却水管设置在相邻的两层所述反射板之间。

进一步地，各所述反射板通过连接件与所述支撑板连接固定。

具体地，所述连接件包括螺柱，所述螺柱的一端与所述支撑板相连，所述螺柱另一端穿过各所述反射板与固定螺母相连。

具体地，所述螺柱与所述反射板之间设有间隙，在每相邻的两层所述反射板之间设有隔离环，所述隔离环套设在所述螺柱上。

具体地，所述反射板采用镜面不锈钢制成。

具体地，所述冷却水管呈S形布置。

本实用新型提供了一种MOCVD设备，至少包括上述的隔热装置。

具体地，所述隔热装置设置在反应腔室或预加热腔室中。

具体地，所述反应腔室中还设有加热装置和载板，所述加热装置、载板和隔热装置从上到下依次间隔设置在所述反应腔室中。

具体地，所述加热装置为加热灯管。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：

本实用新型提供的隔热装置及设有该隔热装置的MOCVD设备，将反射板与冷却水管相结合进行分层隔热，构成有效的温度梯度，实现了高温加热区域与非加热区域的有效隔离，提升了隔热效率，在保证加热区域的正常运行同时，能够有效保证非加热区域的温度维持在正常温度。