[实用新型]一种稳定气体出气量的控制器

摘要

本实用新型公开了一种稳定气体出气量的控制器，控制器由壳体组成，壳体内部形成有空腔，壳体左侧内壁中间固定有弹簧，弹簧另一端固定有阀门，壳体右侧面设有第一出气口，第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面内壁设置有挡块，挡块的内壁呈漏斗状，形成漏斗状空腔，该漏斗状空腔与第一出气口连通；阀门为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，控制器壳体上还设置有第二出气口；控制器通过旁路与扩散源瓶出气管连接，控制器与旁路螺纹连接。本实用新型可根据扩散源瓶出气量的变化，自动调整管内气压，从而控制通入扩散管内的三氯氧磷气体分子量，不需要人工对扩散工艺参数频繁调整，制程稳定。

主权项

1.一种稳定气体出气量的控制器，其特征在于所述控制器包括壳体(1)，壳体(1)内部形成有空腔(2)，所述壳体(1)左侧内壁的中间固定有弹簧(3)，该弹簧(3)的另一端与阀门(4)的左端固接；壳体右侧面设有第一出气口(5)，该第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面的内壁设置有挡块(6)，该挡块(6)的内壁呈漏斗状，在壳体内形成漏斗状的空腔，该漏斗状的空腔与第一出气口(5)连通；所述阀门(4)为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，阀门(4)的右端直径小于左端直径且右端直径略大于或等于第一出气口(5)的直径，阀门(4)的左端与壳体之间接触且密封；所述的控制器壳体上还设置有第二出气口(7)，该第二出气口(7)为均布于壳体上的若干个气孔；当阀门(4)压迫弹簧收缩时，挡块(6)与阀门(4)之间形成泄气通道(10)；当弹簧(3)推动阀门(4)与挡块(6)闭合时，二者之间的泄气通道(10)完全关闭，控制器内无法通过任何气体；所述的控制器通过旁路(9)与扩散源瓶出气管(8)连接，该扩散源瓶出气管(8)的A端为进气端，与扩散源瓶出气口连接，B端为出气端；旁路(9)的一端与扩散源瓶出气管(8)连通，另一端设置有螺帽(11)，旁路通过该螺帽(11)与控制器的第一出气口(5)螺纹连接。