[实用新型]一种稳定气体出气量的控制器

说明书

本实用新型公开了一种稳定气体出气量的控制器，控制器由壳体组成，壳体内部形成有空腔，壳体左侧内壁中间固定有弹簧，弹簧另一端固定有阀门，壳体右侧面设有第一出气口，第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面内壁设置有挡块，挡块的内壁呈漏斗状，形成漏斗状空腔，该漏斗状空腔与第一出气口连通；阀门为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，控制器壳体上还设置有第二出气口；控制器通过旁路与扩散源瓶出气管连接，控制器与旁路螺纹连接。本实用新型可根据扩散源瓶出气量的变化，自动调整管内气压，从而控制通入扩散管内的三氯氧磷气体分子量，不需要人工对扩散工艺参数频繁调整，制程稳定。

技术领域

本实用新型涉及光伏制造业的扩散工序技术领域，具体是一种稳定气体出气量的控制器。

背景技术

目前光伏制造业扩散工序中，需要将磷原子扩散进入硅片中，磷原子以三氯氧磷液体的方式储存在石英玻璃容器内，使用时向容器内液体三氯氧磷中通入高纯氮气鼓泡，此时氮气会携带一部分挥发的三氯氧磷气体分子进入扩散管内完成磷原子的扩散。但是随着生产的进行，容器内的三氯氧磷液面逐渐下降，液面顶部三氯氧磷饱和蒸汽压逐渐减少，导致通入同样多的高纯氮气，携带出的三氯氧磷气体分子量减少，从而造成通入扩散管内的磷原子数减少，出现扩散方阻波动或异常，此时需要增加氮气的通入量，加大携带出的磷原子数目，减小扩散管内磷原子数目波动。当使用新源瓶时，容器内三氯氧磷液体量充足，通入同样多的高纯氮气，携带的三氯氧磷气体分子量会超过同期扩散管内需求量，通入扩散管内的磷原子数相应增加，仍然会出现扩散方阻波动或异常，此时需要减少氮气的通入量，以便减少携带出的磷原子数目。

以上两种异常情况，需要随着三氯氧磷液体量的变化，人为不断调整通入的高纯氮气量或者扩散温度，但是调整相对滞后，不便于连续性生产。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的缺陷，提出了一种稳定气体出气量的控制器，在三氯氧磷扩散源瓶出气管上安装一个稳定三氯氧磷出气量的控制器，该控制器可根据扩散源瓶出气量的变化，自动调整管内气压，从而控制通入扩散管内的三氯氧磷气体分子量，不需要人工对扩散工艺参数频繁调整，制程稳定。

本实用新型的目的及解决的技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据

本实用新型提出的一种稳定气体出气量的控制器，控制器包括壳体，壳体内部形成有空腔，所述壳体左侧内壁的中间固定有弹簧，该弹簧的另一端与阀门的左端固接；

壳体右侧面设有第一出气口，该第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面的内壁设置有挡块，该挡块的内壁呈漏斗状，在壳体内形成漏斗状的空腔，该漏斗状的空腔与第一出气口连通；

所述阀门为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，阀门的右端直径小于左端直径且右端直径略大于或等于第一出气口的直径，阀门的左端与壳体之间接触且密封；

所述的控制器壳体上还设置有第二出气口，该第二出气口为均布于壳体上的若干个气孔；

当阀门压迫弹簧收缩时，挡块与阀门之间形成泄气通道；当弹簧推动阀门与挡块闭合时，二者之间的泄气通道完全关闭，控制器内无法通过任何气体；

所述的控制器通过旁路与扩散源瓶出气管连接，该扩散源瓶出气管的A端为进气端，与扩散源瓶出气口连接，B端为出气端，与扩散管连接；旁路的一端与扩散源瓶出气管连通，另一端设置有螺帽，旁路通过该螺帽与控制器的第一出气口螺纹连接。

本实用新型的目的及解决的技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的一种稳定气体出气量的控制器，所述壳体的横截面为圆形或三角形或方形或多边形。