[实用新型]一种稳定气体出气量的控制器有效
申请号: | 201821161140.7 | 申请日: | 2018-07-20 |
公开(公告)号: | CN208562594U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 胡学一;杨辉;吴而义;支凯飞 | 申请(专利权)人: | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;C30B31/18;H01L31/18 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制器 出气口 出气量 挡块 内壁 本实用新型 壳体右侧面 漏斗状空腔 扩散源瓶 稳定气体 漏斗状 弹簧 阀门 壳体 旁路 控制器壳体 气体分子量 角度一致 壳体内部 扩散工艺 螺纹连接 三氯氧磷 凸出壳体 左侧内壁 出气管 扩散管 右侧面 锥体状 螺纹 侧壁 管内 制程 气压 连通 | ||
1.一种稳定气体出气量的控制器,其特征在于所述控制器包括壳体(1),壳体(1)内部形成有空腔(2),所述壳体(1)左侧内壁的中间固定有弹簧(3),该弹簧(3)的另一端与阀门(4)的左端固接;
壳体右侧面设有第一出气口(5),该第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹,壳体右侧面的内壁设置有挡块(6),该挡块(6)的内壁呈漏斗状,在壳体内形成漏斗状的空腔,该漏斗状的空腔与第一出气口(5)连通;
所述阀门(4)为锥体状,其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致,阀门(4)的右端直径小于左端直径且右端直径略大于或等于第一出气口(5)的直径,阀门(4)的左端与壳体之间接触且密封;
所述的控制器壳体上还设置有第二出气口(7),该第二出气口(7)为均布于壳体上的若干个气孔;
当阀门(4)压迫弹簧收缩时,挡块(6)与阀门(4)之间形成泄气通道(10);当弹簧(3)推动阀门(4)与挡块(6)闭合时,二者之间的泄气通道(10)完全关闭,控制器内无法通过任何气体;
所述的控制器通过旁路(9)与扩散源瓶出气管(8)连接,该扩散源瓶出气管(8)的A端为进气端,与扩散源瓶出气口连接,B端为出气端;旁路(9)的一端与扩散源瓶出气管(8)连通,另一端设置有螺帽(11),旁路通过该螺帽(11)与控制器的第一出气口(5)螺纹连接。
2.如权利要求1所述的控制器,其特征在于所述壳体(1)的横截面为圆形或三角形或方形或多边形。
3.如权利要求1所述的控制器,其特征在于弹簧(3)的自然长度与阀门(4)的长度h的和等于或略大于阀门与挡块紧密接触时壳体左侧面到阀门右端面的距离d,所述阀门的长度h是指阀门左端面到右端面的距离。
4.如权利要求3所述的控制器,其特征在于弹簧处于自然伸长状态时,阀门与挡块紧密接触,两者之间形成密封,泄气通道(10)完全关闭。
5.如权利要求1所述的控制器,其特征在于第二出气口(7)从挡块(6)的最左端开始向壳体左侧均匀布置,直至弹簧(3)被压缩至最短时停止;第二出气口(7)与阀门(4)的左端完全密封,即控制器内的气体只能从阀门(4)右侧经第二出气口(7)排出,且阀门(4)越靠近控制器壳体的左侧面,第二出气口(7)打开面积越大,泄气量越大。
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