[实用新型]一种适用于酸性气体、粉尘环境的后端反应及水洗喷淋装置

摘要

本实用新型公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的后端反应及水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括第一反应腔、连接管道、第二反应腔、水洗室、连接软管、废水池和冷却塔，第一反应腔和第二反应腔通过连接管道连接，第二反应腔的底部和水洗室进气端连接，冷却塔和水洗室出气端连接，废水池通过连接软管和水洗室的底部出水法兰连接，水洗室内部设有喷头一并对称设于水洗室的左右两侧，冷却塔内部均布设有冷却板，冷却塔的顶部水平设有出气口。废气中的有机物进入第一和第二反应腔充分反应后，再经过水洗室和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温后，达到排放标准后从出气口排出，整个装置结构合理，实用性强。

主权项

1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的后端反应及水洗喷淋装置，其特征在于：包括第一反应腔(1)、连接管道(2)、第二反应腔(3)、水洗室(4)、连接软管(5)、废水箱(6)和冷却塔(7)，所述第一反应腔(1)包括反应腔一(11)和主进气法兰一(12)，所述主进气法兰一(12)设于反应腔一(11)的顶部中间，所述反应腔一(11)的底部设有出气法兰(15)，所述第二反应腔(3)包括反应腔二(31)和主进气法兰二(32)，所述主进气法兰二(32)设于反应腔二(31)的顶部中间，所述出气法兰(15)和主进气法兰二(32)通过连接管道(2)连接在一起，所述反应腔二(31)的底部和水洗室(4)连接，所述水洗室(4)包括水洗腔体(41)和设于水洗腔体(41)内的喷头一(42)，所述水洗腔体(41)的顶部左边设有进气端，顶部右边设有出气端，水洗腔体(41)的进气端和反应腔二(31)的底部直接连接，水洗腔体(41)的出气端和冷却塔(7)的底部直接连接，所述水洗腔体(41)的底部设有出水法兰(43)并通过连接软管(5)和废水箱(6)连接，所述冷却塔(7)内部均布设有冷却板(71)，所述冷却塔(7)内部的中间和上部分别设有喷头二(72)和喷头三(73)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(75)。