[实用新型]改良型太阳能电池片扩散炉有效
| 申请号： | 201821119525.7 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN208562593U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 贡江涛;符亮;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池扩散技术领域，尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉，将硅片槽倾斜设置后，硅片能够倾斜设置在炉管内，炉尾端的进气口放在炉尾端的上部，抽气口仍然放在炉的下部，硅片沿气流方向倾斜，优化扩散炉管内气场氛围，提高了携源氮气与硅片中间区域的接触，减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值，改善扩散方阻的片内均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 方阻 太阳能电池片 倾斜设置 改良型 扩散炉 炉尾 进气口 氮气 扩散技术领域 本实用新型 片内均匀性 太阳能电池 扩散炉管 中间区域 抽气口 减小 炉管 内气 扩散 优化 | ||
【主权项】：
1.一种改良型太阳能电池片扩散炉，其特征在于：包括炉管(1)、石英舟(2)、源瓶(3)、源瓶进气管(31)和源瓶出气管(32)，石英舟(2)设置在炉管(1)内，炉管(1)的炉口处设置有炉盖(11)，源瓶出气管(32)的一端和源瓶(3)内部相连通，源瓶出气管(32)的另一端从炉管(1)尾端的上部通入炉管(1)内部，源瓶进气管(31)的一端和源瓶(3)内部相连通，源瓶进气管(31)的另一端通入氮气，炉管(1)内的底部设置有水平的出气管(12)，出气管(12)从炉管(1)尾端的下部穿出，所述石英舟(2)上开设有多个均匀的硅片槽(21)，所述硅片槽(21)倾斜设置，硅片槽(21)的槽口相对于硅片槽(21)的底部更靠近炉管(1)尾端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州亿晶光电科技有限公司，未经常州亿晶光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821119525.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体单晶炉籽晶夹头
- 下一篇：一种稳定气体出气量的控制器
