[实用新型]用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统

摘要

本实用新型涉及一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统。该系统包括传输线、喷淋槽、喷淋组件、清洗槽、第一超声波组件、乳酸脱胶槽、第二超声波组件、过滤组件以及控制系统。上述系统中，硅片通过传输线可依次进入喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽。喷淋槽和清洗槽可通过喷淋组件和超声波组件将硅片上大量的硅粉等污染物清除。乳酸脱胶槽用于将硅片上的残留胶去除。过滤组件可将使用后的废水回收利用。上述系统结构简单，使用的槽体数量少，有利于降低耗水量。而且，在去除硅片上的残留胶的同时，还可回收利用废水。上述各方面因素使得该系统耗水量较低。

主权项

1.一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，其特征在于，包括：传输线；喷淋槽，所述喷淋槽设于所述传输线上；喷淋组件，所述喷淋组件设置在所述喷淋槽内部；清洗槽，所述清洗槽设于所述传输线上；第一超声波组件，所述第一超声波组件设于所述清洗槽，用于使所述清洗槽内的液体产生振动；乳酸脱胶槽，所述乳酸脱胶槽设于所述传输线上；第二超声波组件，所述第二超声波组件设于所述乳酸脱胶槽，用于使乳酸脱胶槽内的液体产生振动；过滤组件，所述过滤组件用于对喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽流出的液体进行过滤；控制系统，所述控制系统用于控制所述传输线、喷林组件、第一超声波组件、第二超声波组件和过滤组件的运转。