[实用新型]一种张网设备的辅助装置及张网设备有效
| 申请号： | 201821079501.3 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208467576U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏程 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/00 | 分类号： | B23K37/00;B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供的一种张网设备的辅助装置及张网设备，用于固定掩膜框架，所述辅助装置包括：气浮基台和设置在所述气浮基台表面上相对两侧的卡扣；所述卡扣在所述气浮基台上具有用于取放所述掩膜框架的第一工位和用于固定所述掩膜框架的第二工位，所述卡扣处于所述第二工位时，朝向所述掩膜框架的表面齐平。本实用新型实施例中，能够保证在气浮过程中，掩膜框架保持水平，提高制备掩膜版的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜 张网 辅助装置 工位 气浮 本实用新型 卡扣 表面齐平 固定掩膜 基台表面 气浮过程 相对两侧 掩膜版 基台 取放 制备 保证 | ||
【主权项】：
1.一种张网设备的辅助装置，用于固定掩膜框架，其特征在于，所述辅助装置包括：气浮基台和设置在所述气浮基台表面上相对两侧的卡扣；所述卡扣在所述气浮基台上具有用于取放所述掩膜框架的第一工位和用于固定所述掩膜框架的第二工位，所述卡扣处于所述第二工位时，朝向所述掩膜框架的表面齐平。
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