[实用新型]一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置

摘要

本实用新型公开了一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，包括机架；控制单元；软模板，在软模板外侧固定有软模板托架；下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元；充压机构，设于下压机构上并与腔室相通；承压机构，设于软模板下方，承压机构上设有基板；固胶单元；气压检测单元，安装于下压机构上；位移检测单元，固定于软模板托架上；多个升降机构，下压机构、充压机构、固胶单元、气压检测单元、位移检测单元以及多个升降机构均与控制单元电连接。本实用新型扩大了PET膜操作空间，确保了人员操作过程中PET模板的完整性，加强了PET膜夹紧固定的方式，更加牢固地固定了PET膜。

主权项

1.一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：包括机架、控制单元，软模板，软模板为透明质软模板，在软模板外侧固定有软模板托架，软模板托架与机架固定，在软模板底部设有纳米结构；下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元，下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室；充压机构，设于下压机构上并与腔室相通，当下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室时对腔室充压；承压机构，设于软模板下方，承压机构上设有基板，基板上涂抹有压印胶，基板与软模板配合完成压印；固胶单元，对压印胶进行固化，将纳米结构转印在基板上；气压检测单元，安装于下压机构上，用于检测腔室内压力状态并将压力信息反馈给控制单元；位移检测单元，固定于软模板托架上，用于检测软模板与承压机构之间位移状态并将位移量反馈给控制单元；多个升降机构，升降机构与承压机构底端连接并与承压机构固定，升降机构可同时升降或单独升降；下压机构、充压机构、固胶单元、气压检测单元、位移检测单元以及升降机构均与控制单元电连接。