[实用新型]一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置

说明书

本实用新型公开了一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，包括机架；控制单元；软模板，在软模板外侧固定有软模板托架；下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元；充压机构，设于下压机构上并与腔室相通；承压机构，设于软模板下方，承压机构上设有基板；固胶单元；气压检测单元，安装于下压机构上；位移检测单元，固定于软模板托架上；多个升降机构，下压机构、充压机构、固胶单元、气压检测单元、位移检测单元以及多个升降机构均与控制单元电连接。本实用新型扩大了PET膜操作空间，确保了人员操作过程中PET模板的完整性，加强了PET膜夹紧固定的方式，更加牢固地固定了PET膜。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置。

背景技术

纳米压印技术，是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，在纳米压印过程中，将具有凸凹纳米结构的模板通过一定的压力压入高分子薄膜内，并保压，通过加温冷却或紫外曝光等方法使纳米结构定型，之后移去模板，再通过其它工艺将纳米结构转移至半导体硅片上。传统的纳米压印机普遍存在设备结构复杂，具有微纳结构的PET软模板操作空间狭小，操作过程繁琐，适应性差，纳米压印过程中容易损坏PET模板，导致纳米压印的不完整性。

发明内容

为解决上述存在的问题，本实用新型提供一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，此装置扩大了PET膜操作空间，确保了人员操作过程中PET模板的完整性，适用性强，加强了PET膜夹紧固定的方式，更加牢固、简便、精确、平整地固定了PET膜。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，包括机架、控制单元，

软模板，软模板为透明质软模板，在软模板外侧固定有软模板托架，软模板托架与机架固定，在软模板底部设有纳米结构；

下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元，下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室；

充压机构，设于下压机构上并与腔室相通，当下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室时对腔室充压；

承压机构，设于软模板下方，承压机构上设有基板，基板上涂抹有压印胶，基板与软模板配合完成压印；

固胶单元，对压印胶进行固化，将纳米结构转印在基板上；

气压检测单元，安装于下压机构上，用于检测腔室内压力状态并将压力信息反馈给控制单元；

位移检测单元，固定于软模板托架上，用于检测软模板与承压机构之间位移状态并将位移量反馈给控制单元；

多个升降机构，升降机构与承压机构底端连接并与承压机构固定，升降机构可同时升降或单独升降；

下压机构、充压机构、固胶单元、气压检测单元、位移检测单元以及升降机构均与控制单元电连接。

上述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，所述下压机构包括与机架滑动连接的托台，所述托台中间固定有透明的加压板，还包括与托台连接的、可驱动托台上下移动的直驱式伺服电机缸。

上述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，所述充压机构为增压泵，所述增压泵设于加压板上，增压泵的充压端穿透加压板可对腔室充压。

上述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，所述承压机构包括承压板，基板设于承压板中间位置，在承压板侧面固定有三块支撑板。

上述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，固胶单元设于加压板上方，固胶单元为可透过软模板及加压板的紫外线照射灯，压印胶采用紫外灯照射固化型压印胶。