[实用新型]一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置

权利要求书

1.一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：包括机架、控制单元，

软模板，软模板为透明质软模板，在软模板外侧固定有软模板托架，软模板托架与机架固定，在软模板底部设有纳米结构；

下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元，下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室；

充压机构，设于下压机构上并与腔室相通，当下压机构下压直至压紧软模板使软模板与下压机构之间形成密闭的腔室时对腔室充压；

承压机构，设于软模板下方，承压机构上设有基板，基板上涂抹有压印胶，基板与软模板配合完成压印；

固胶单元，对压印胶进行固化，将纳米结构转印在基板上；

气压检测单元，安装于下压机构上，用于检测腔室内压力状态并将压力信息反馈给控制单元；

位移检测单元，固定于软模板托架上，用于检测软模板与承压机构之间位移状态并将位移量反馈给控制单元；

多个升降机构，升降机构与承压机构底端连接并与承压机构固定，升降机构可同时升降或单独升降；

下压机构、充压机构、固胶单元、气压检测单元、位移检测单元以及升降机构均与控制单元电连接。

2.根据权利要求1所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：所述下压机构包括与机架滑动连接的托台，所述托台中间固定有透明的加压板，还包括与托台连接的、可驱动托台上下移动的直驱式伺服电机缸。

3.根据权利要求1所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：所述充压机构为增压泵，所述增压泵设于加压板上，增压泵的充压端穿透加压板可对腔室充压。

4.根据权利要求1所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：所述承压机构包括承压板，基板设于承压板中间位置，在承压板侧面设置有三块支撑板。

5.根据权利要求2所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：固胶单元设于加压板上方，固胶单元为可透过软模板及加压板的紫外线照射灯，压印胶采用紫外灯照射固化型压印胶。

6.根据权利要求4所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：所述固胶单元设于承压板上，并设置在基板正下方，所述固胶单元为加热器。

7.根据权利要求1所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：气压检测单元为气体压力传感器。

8.根据权利要求4所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：位移检测单元的个数与支撑板的个数相匹配，位移检测单元为具有检测头的直线位移传感器，工作时，直线位移传感器上的检测头与支撑板相接触。

9.根据权利要求4所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：升降机构为气缸或直驱式伺服电机缸，升降机构与承压板连接实现承压板的高度调节。

10.根据权利要求1所述的一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，其特征在于：所述控制单元为PLC控制器。