[实用新型]一种高精确度的薄膜厚度测量装置

摘要

本实用新型提供了一种高精确度的薄膜厚度测量装置，该高精确度的薄膜厚度测量装置包括：支撑件，包括架体、通轴，以及圆形筒柱，其中，圆形筒柱用于缠绕薄膜；还包括用于驱动圆形筒柱转动的第一驱动机构；计量卷轴，薄膜的外露端平行收紧在计量卷轴上，计量转轴的一端连接有驱动计量卷轴旋转的第二驱动机构，计量卷轴远离第二驱动机构的一端设有凸起；记圈器，第二驱动机构驱动计量卷轴旋转至设定位置时，凸起抵压一次记圈器的开关；还包括计米器、直径测量仪、计算模块；通过计量卷轴每旋转一次按压一次记圈器，设有的记圈器和直径测量仪通过计算模块计算出每层薄膜的平均厚度，设有的计米器记录在同一设定长度反复进行测量，使该装置准确性更高。

主权项

1.一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括：支撑件，包括架体，与所述架体转动连接的通轴，以及套装在所述通轴上并与所述通轴固定连接的圆形筒柱，其中，所述圆形筒柱用于缠绕薄膜；还包括用于驱动所述圆形筒柱转动的第一驱动机构；计量卷轴，所述薄膜的外露端平行收紧在所述计量卷轴上，所述计量卷轴的一端连接有驱动所述计量卷轴旋转的第二驱动机构，所述计量卷轴远离所述第二驱动机构的一端设有凸起；记圈器，所述第二驱动机构驱动所述计量卷轴旋转至设定位置时，所述凸起抵压一次所述记圈器的开关；计米器，用于测量所述薄膜收纳在与所述计量卷轴上的米数；直径测量仪，用于测量所述测量所述计量卷轴上所收纳薄膜的厚度；计算模块，在所述计米器检测的所述薄膜缠绕到所述计量卷轴上设定长度时，根据所述直径测量仪测量的缠绕到所述计量卷轴上的直径以及所述记圈器测量的缠绕到所述计量卷轴上的薄膜的圈数计算所述设定长度的薄膜的平均厚度。