[实用新型]一种高精确度的薄膜厚度测量装置

权利要求书

1.一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括：

支撑件，包括架体，与所述架体转动连接的通轴，以及套装在所述通轴上并与所述通轴固定连接的圆形筒柱，其中，所述圆形筒柱用于缠绕薄膜；还包括用于驱动所述圆形筒柱转动的第一驱动机构；

计量卷轴，所述薄膜的外露端平行收紧在所述计量卷轴上，所述计量卷轴的一端连接有驱动所述计量卷轴旋转的第二驱动机构，所述计量卷轴远离所述第二驱动机构的一端设有凸起；

记圈器，所述第二驱动机构驱动所述计量卷轴旋转至设定位置时，所述凸起抵压一次所述记圈器的开关；

计米器，用于测量所述薄膜收纳在与所述计量卷轴上的米数；

直径测量仪，用于测量所述测量所述计量卷轴上所收纳薄膜的厚度；

计算模块，在所述计米器检测的所述薄膜缠绕到所述计量卷轴上设定长度时，根据所述直径测量仪测量的缠绕到所述计量卷轴上的直径以及所述记圈器测量的缠绕到所述计量卷轴上的薄膜的圈数计算所述设定长度的薄膜的平均厚度。

2.根据权利要求1所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述通轴沿周向设有多个支撑腿，所述多个支撑腿分别支撑所述圆形筒柱的内壁。

3.根据权利要求2所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述通轴延伸出所述圆形筒柱的两端分别与所述架体转动连接。

4.根据权利要求1所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述第一驱动机构为第一电机，所述第一驱动电机的输出轴连接所述通轴的一端；所述第二驱动机构为第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出轴连接所述计量卷轴的一端；其中，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机同向旋转，并且转速相同。

5.根据权利要求1所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，还包括安装所述计量卷轴、所述计米器、所述记圈器、所述直径测量仪以及所述第二驱动电机的安装架。

6.根据权利要求5所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述计米器固定安装在所述安装架上，所述计米器的米轮与所述薄膜相抵压，所述薄膜运动带动所述米轮旋转。

7.根据权利要求6所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述计米器为以毫米为单位的计米器。

8.根据权利要求1所述的高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述计算模块连接有显示计算数据结果的显示屏。