[实用新型]一种湿法槽式机的抛光槽有效
| 申请号： | 201821005300.9 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208422873U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 黄明 | 申请（专利权）人： | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种湿法槽式机的抛光槽，包括抛光槽本体，所述抛光槽本体包括外槽和顶部低于所述外槽顶部的内槽，所述内槽和所述外槽的下部分别具有第一排放控制阀门和第二排放控制阀门，所述外槽的侧部伸出一个循环管道，所述循环管道依次连接至少两个精度逐渐增加的过滤部件之后与循环泵的一端连接，所述循环泵的另一端连通至所述内槽的内部。上述湿法槽式机的抛光槽，既能够保证具有足够好的过滤效果，又能够减少滤芯损耗，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光槽 外槽 槽式 内槽 湿法 排放控制阀门 循环管道 循环泵 过滤部件 过滤效果 一端连接 依次连接 逐渐增加 滤芯 连通 伸出 申请 保证 | ||
【主权项】：
1.一种湿法槽式机的抛光槽，包括抛光槽本体，所述抛光槽本体包括外槽和顶部低于所述外槽顶部的内槽，所述内槽和所述外槽的下部分别具有第一排放控制阀门和第二排放控制阀门，所述外槽的侧部伸出一个循环管道，其特征在于，所述循环管道依次连接至少两个精度逐渐增加的过滤部件之后与循环泵的一端连接，所述循环泵的另一端连通至所述内槽的内部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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