[实用新型]一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构有效
| 申请号： | 201820989246.X | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN208562509U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 龙汝磊;范滨;裴蓓 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。本实用新型的优点是：在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性；在不更换伞架盘的情况下，实现球面伞架分割数的变化，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能；结构简单合理，拆装方便，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 伞架 支撑杆 真空镀膜设备 球面 本实用新型 驱动装置 工件盘 可调节 基板 工艺条件要求 真空镀膜技术 使用灵活性 拆装方便 承载工件 尺寸要求 行星机构 分割数 铰接点 批量性 产能 铰接 互换 应用 转动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。
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