[实用新型]一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构

权利要求书

1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。

2.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述驱动装置连接有伞架盘，所述支撑杆分别与所述驱动装置以及所述伞架盘构成铰接；所述伞架盘上设置有支撑杆位置相对应的摆渡块。

3.根据权利要求2所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述支撑杆与所述伞架盘之间的铰接是通过，在所述伞架盘上设置吊臂，所述吊臂上具有可滑动的滑块，所述滑块与一连接杆的一端铰接，所述连接杆的另一端与所述支撑杆铰接。

4.根据权利要求3所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述吊臂上具有导轨，所述滑块与所述导轨滑动配合，在所述滑块上设置有固定件，所述固定件用于对所述滑块在所述导轨上的位置进行固定；在所述吊臂的一侧设置有调整件，所述调整件用于对滑块在所述导轨上的位置进行调整。

5.根据权利要求2所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述伞架盘与镀膜行星机构相适配。

6.根据权利要求2所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述驱动装置连接有一转换块，所述转换块与所述伞架盘之间构成可拆卸式的连接固定，所述支撑杆的一端与所述转换块铰接。