[实用新型]一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。本实用新型的优点是：在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性；在不更换伞架盘的情况下，实现球面伞架分割数的变化，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能；结构简单合理，拆装方便，适于推广。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构。

背景技术

目前，为了提高待镀膜工件的膜厚均一性，在真空镀膜设备中往往选择通过一镀膜伞架来承载工件，该镀膜伞架的中心设置有中心回转机构，在中心回转机构的驱动下镀膜伞架绕其旋转，从而实现伞架机构上各工件的均匀镀膜。由于镀膜伞架为回转体，为了提高其在旋转时的结构稳定性，镀膜伞架一般为整体结构，其无法分体拆卸十分笨重，针对不同待镀膜工件的尺寸以及产品工艺条件要求，往往需要将镀膜伞架整体拆下，而后安装上另一对应的镀膜伞架再进行镀膜，这样一来无疑增加了镀膜时间，降低了产能，同时还增加了生产成本，一种产品就需要一种对应的镀膜伞架。总的来说，目前的镀膜伞架的适应性极差，根本无法满足日益增多的各种镀膜产品的需要。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，通过对支撑杆进行角度调整进而调整工件盘相较于镀膜源的角度，从而在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。

所述驱动装置连接有伞架盘，所述支撑杆分别与所述驱动装置以及所述伞架盘构成铰接；所述伞架盘上设置有支撑杆位置相对应的摆渡块。

所述支撑杆与所述伞架盘之间的铰接是通过，在所述伞架盘上设置吊臂，所述吊臂上具有可滑动的滑块，所述滑块与一连接杆的一端铰接，所述连接杆的另一端与所述支撑杆铰接。

所述吊臂上具有导轨，所述滑块与所述导轨滑动配合，在所述滑块上设置有固定件，所述固定件用于对所述滑块在所述导轨上的位置进行固定；在所述吊臂的一侧设置有调整件，所述调整件用于对滑块在所述导轨上的位置进行调整。

所述伞架盘与镀膜行星机构相适配。

所述驱动装置连接有一转换块，所述转换块与所述伞架盘之间构成可拆卸式的连接固定，所述支撑杆的一端与所述转换块铰接。

本实用新型的优点是：在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性；在不更换伞架盘的情况下，实现球面伞架分割数的变化，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能；结构简单合理，拆装方便，适于推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的主视图；

图4为本实用新型的仰视结构示意图。

具体实施方式