[实用新型]一种磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201820940849.0 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN208517520U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 卢凤瑜 | 申请（专利权）人： | 德州易能新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 251200 山东省德州市（禹城）国家高*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种磁控溅射设备，包括：靶材，设置为阴极；遮罩壳，设置在所述靶材外部，将所述靶材罩设在其内部，所述遮罩壳具有开口；绝缘隔离层，设置在所述遮罩壳和所述靶材之间；至少一个压条，设置为阳极，其一端与所述的开口固定连接,其另一端形成凸起部，所述凸起部与所述压条处于同一平面,并向外延伸,形成尖端。本实用新型提供的磁控溅射设备将阳极所连接的压条设置为尖端，通过将压条设计为尖端，可以扩大压条尖端处的电势能的范围，使距离尖端较远处的Ar原子也可以被电离成Ar+，从而可以电离得到更多数量的Ar+，以及增大Ar+的平均自由行程。 | ||
| 搜索关键词： | 压条 靶材 磁控溅射设备 遮罩 本实用新型 阳极 凸起部 电离 开口 阴极 绝缘隔离层 自由行程 电势能 尖端处 外部 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括：靶材，设置为阴极；遮罩壳，设置在所述靶材外部，将所述靶材罩设在其内部，所述遮罩壳具有开口；绝缘隔离层，设置在所述遮罩壳和所述靶材之间；至少一个压条，设置为阳极，其一端与所述的开口固定连接,其另一端形成凸起部，所述凸起部与所述压条处于同一平面,并向外延伸,形成尖端。
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