[实用新型]一种磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201820940849.0 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN208517520U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 卢凤瑜 | 申请（专利权）人： | 德州易能新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 251200 山东省德州市（禹城）国家高*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压条 靶材 磁控溅射设备 遮罩 本实用新型 阳极 凸起部 电离 开口 阴极 绝缘隔离层 自由行程 电势能 尖端处 外部 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括：
靶材，设置为阴极；
遮罩壳，设置在所述靶材外部，将所述靶材罩设在其内部，所述遮罩壳具有开口；
绝缘隔离层，设置在所述遮罩壳和所述靶材之间；
至少一个压条，设置为阳极，其一端与所述的开口固定连接,其另一端形成凸起部，所述凸起部与所述压条处于同一平面,并向外延伸,形成尖端。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述凸起部设置为逐渐收缩至所述尖端。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述凸起部设置为逐渐扩大及逐渐收缩至所述尖端。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述尖端结构为三角形，所述凸起部的尖端结构形成尖韧状。
5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述三角形状的顶角为0-30度。
6.根据权利要求5所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述三角形状的顶角为0-10度。
7.根据权利要求1-3任一项所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述凸起部的最高点向外延伸形成针状结构。
8.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述压条为2个，且相对设置。
9.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备，其特征在于，所述遮罩壳为方形；
所述压条为4个，分布在所述遮罩壳的四周。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德州易能新能源科技有限公司，未经德州易能新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820940849.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种遮挡结构和蒸发台
- 下一篇：一种手机屏幕镀膜夹具
- 同类专利
- 专利分类
