[实用新型]柔性太阳能电池背电极生产设备

摘要

本实用新型公开了一种柔性太阳能电池背电极生产设备。该柔性太阳能电池背电极生产设备使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜。

主权项

1.一种柔性太阳能电池背电极生产设备，包括腔体，其特征是，所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统。