[实用新型]一种膜厚调节器及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820920223.3 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN208701187U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 常建兵;何麟;朱修剑 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 孙燕娟 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种膜厚调节器及蒸镀设备，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设在所述喷嘴安装面的多个喷嘴。该膜厚调节器及蒸镀设备，有效改善蒸镀膜的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 调节器 膜厚 蒸镀设备 线源 喷嘴组 本实用新型 喷嘴安装面 喷嘴安装 喷嘴 均一性 蒸镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚调节器，其特征在于，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设置于所述喷嘴安装面的多个喷嘴，所述喷嘴还包括补偿喷嘴，该补偿喷嘴具有可调节喷嘴开口大小的阀门。
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