[实用新型]一种膜厚调节器及蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种膜厚调节器及蒸镀设备，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设在所述喷嘴安装面的多个喷嘴。该膜厚调节器及蒸镀设备，有效改善蒸镀膜的均一性。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种膜厚调节器及蒸镀设备。

背景技术

现有OLED面板的生产中通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到基板上，在量产中蒸镀发光材料需要使用到线性蒸发源(简称线源)。蒸镀成膜法形成的膜可以称为蒸镀膜，蒸镀膜的厚度不同会导致OLED显示器件的发光亮度和色度存在差异，影响OLED显示器件的显示效果及使用寿命。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的包括提供一种膜厚调节器及蒸镀设备，用于改善蒸镀膜的均一性。

本实用新型实施例提供一种膜厚调节器，所述膜厚调节器包括：线源以及设置于所述线源上的喷嘴组，所述线源具有一喷嘴安装面，所述喷嘴组包括沿线源方向设置于所述喷嘴安装面的多个喷嘴。

优选地，所述喷嘴还包括补偿喷嘴，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构或一体式结构。

优选地，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为一体式结构，设置于所述喷嘴安装面上。

优选地，所述补偿喷嘴与所述喷嘴为分体式结构，所述补偿喷嘴分设于所述喷嘴一侧或两侧。

优选地，所述补偿喷嘴设置于所述喷嘴的左侧或右侧。

优选地，所述喷嘴包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴……第N喷嘴，所述补偿喷嘴包括第一补偿喷嘴、第二补偿喷嘴、第三补偿喷嘴……第M补偿喷嘴，其中，M大于等于N。

优选地，所述补偿喷嘴设置于所述喷嘴的两侧。

优选地，所述喷嘴包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴……第N喷嘴，所述补偿喷嘴包括第一补偿喷嘴、第二补偿喷嘴、第三补偿喷嘴……第M补偿喷嘴，其中，M大于等于N。

本实用新型实施例还提供一种蒸镀设备，包括前述膜厚调节器。

本实用新型实施例提供的一种膜厚调节器及蒸镀设备，利用补偿喷嘴具有可调节大小的阀门，在蒸镀过程中，当晶振片测得某个位置的膜厚相对较小时，会适当的打开对应位置的补充喷嘴的阀门，以补偿该位置的膜厚，该设计可以使得在蒸镀过程实时调控膜厚，有效改善蒸镀膜的均一性，提高良品率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例提供的一种膜厚调节器的结构示意图。

图2为本实用新型第二实施例提供的一种膜厚调节器的结构示意图。

图3为本实用新型第三实施例提供的一种膜厚调节器的结构示意图。

图4为本实用新型第四实施例提供的一种膜厚调节器的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的一种膜厚调节器及蒸镀设备的具体实施方式、方法、步骤、结构、特征及功效，详细说明如后。