[实用新型]一种铁电薄膜变容器有效
| 申请号： | 201820913109.8 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN209169195U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 夏丰金;李惠;杨佳恒;郭广海 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种铁电薄膜变容器，利用激光脉冲沉积方法在氧化镁单晶衬底上制备锰钛酸锶钡薄膜，锰钛酸锶钡薄膜和金薄膜组成一个方形，其中方形的四角分布有锰钛酸锶钡薄膜、方形的其中两边由金薄膜形成的弯曲部为直角的曲折形状连通。本实用新型的有益效果是本方法制备的变容器可以提高可调谐滤波器的调谐幅度，同时减小了变容器体积，降低损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 变容器 钛酸锶钡薄膜 本实用新型 铁电薄膜 金薄膜 制备 调谐 激光脉冲沉积 可调谐滤波器 氧化镁单晶 曲折形状 弯曲部 衬底 减小 连通 两边 | ||
【主权项】：
1.一种铁电薄膜变容器，其特征在于：锰钛酸锶钡表面设有一层15纳米厚的金薄膜，锰钛酸锶钡薄膜和金薄膜组成一个方形，其中方形的四角分布有锰钛酸锶钡薄膜、方形的其中两边为由金薄膜形成的弯曲部为直角的曲折形状连通，锰钛酸锶钡薄膜材料尺寸为：叉指部分长度为420μm，叉指缝隙锰钛酸锶钡宽度为5μm，叉指电极宽度为30μm，叉指到另一侧电极之间水平间隔为20μm，叉指个数为30。
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