[实用新型]晶圆盒

摘要

一种晶圆盒，包含盒体及门体。盒体具有底座、两个彼此间隔相对的侧壁、连接底座和两侧壁后端的后壁，及连接两侧壁和后壁顶端并与底座间隔相对的顶壁，底座、两侧壁、后壁及顶壁共同界定容置空间，且底座、两侧壁及顶壁共同形成门框并界定与容置空间连通的开口。门框具有前端面。盒体还具有由前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口，且具有相连接的内门板及外门板，外门板的四周较内门板凸出而形成与前端面密合地相接的内接面，且当门体与盒体组合时，外门板的底缘抵靠于支撑凸缘。

主权项

1.一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，其特征在于：该晶圆盒包含：盒体，具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁，及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁，该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间，且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口，该门框具有前端面，该盒体还具有由该前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘；及门体，可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，且具有相连接的内门板及外门板，该外门板的四周较该内门板凸出而形成在该门体与该盒体组合时与该前端面密合地相接的内接面；且当该门体与该盒体组合时，该外门板的底缘抵靠于该支撑凸缘。