[实用新型]新型微波水热电沉积系统

摘要

本实用新型公开一种新型微波水热电沉积系统。该系统包括反应釜装置，承载装置、微波电源、开关控制装置、直流电源和循环冷却装置；均插接安装于釜盖上并分别延伸至反应釜的温控元件、用于进行电沉积的正负电极；反应釜装置包括一端开口的釜体、釜盖、安装于釜体内的微波穿透隔离层、安装于釜体底部的微波发生器及周向环绕且嵌入釜体内壁的冷却管；反应釜装置固定在承载装置上；微波电源与微波发生器电连接；开关控制装置与微波电源电连接，同时接收温控元件的信号；直流电源与正负电极电连接；循环冷却装置与开关控制装置电连接并与冷却管连通。本实用新型结构简单、反应效率高、控制精准、运行性能稳定且操作简便，适合制备高质量涂层。

主权项

1.一种新型微波水热电沉积系统，其特征在于，包括反应釜装置，所述反应釜装置包括一端开口的釜体、盖设于所述开口处的釜盖、安装于所述釜体内的微波穿透隔离层、安装于所述釜体底部的微波发生器及周向环绕且嵌入所述釜体内壁的冷却管；还包括用于安装并固定所述反应釜装置的承载装置、微波电源、开关控制装置、直流电源和循环冷却装置；以及，还包括均插接安装于所述釜盖上并分别延伸至所述反应釜的温控元件、用于进行电沉积的正电极和负电极；其中，所述反应釜装置可拆卸固定在所述承载装置上；所述微波电源与所述微波发生器电连接；所述开关控制装置与所述微波电源电连接，并与市电电连接，同时还与所述温控元件有信号传输；所述直流电源分别与所述正电极、负电极电连接；所述循环冷却装置与所述开关控制装置电连接并通过管道与所述冷却管连通。