[实用新型]一种软膜载具有效

专利信息
申请号: 201820805770.7 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN208409657U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 刘晓成;史晓华 申请(专利权)人: 苏州光越微纳科技有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00;B29C59/02;B29L7/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 徐典
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种软膜载具,包括载盘,中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面,孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面,台阶面用于承载软膜;吸附孔,若干个吸附孔分布于台阶面上,吸附孔的底部与一根连通管连通;正负压气源,连接连通管,使吸附孔产生负压,将软膜吸附固定在台阶面上。侧立面的横断面轮廓为圆角矩形。相邻吸附孔在台阶面上等间距分布。采用此实用新型对软膜的底部边沿利用负压吸附固定,紧固效果好,作用力柔和,保证位置精度,便于软膜在进行作业与周转工序。
搜索关键词: 软膜 吸附孔 孔洞 侧立面 连通管 台阶面 载具 本实用新型 等间距分布 横断面轮廓 横截面轮廓 正负压气源 垂直连接 底部边沿 负压吸附 紧固效果 上下贯通 吸附固定 圆角矩形 侧立 负压 载盘 连通 柔和 周转 承载 保证
【主权项】:
1.一种软膜载具,其特征在于,包括:载盘,中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面,所述孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面,所述台阶面用于承载软膜;吸附孔,若干个吸附孔分布于台阶面上,所述吸附孔的底部与一根连通管连通;正负压气源,连接连通管,使吸附孔产生负压,将软膜吸附固定在台阶面上。
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