[实用新型]一种软膜载具

说明书

本实用新型公开了一种软膜载具，包括载盘，中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面，孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面，台阶面用于承载软膜；吸附孔，若干个吸附孔分布于台阶面上，吸附孔的底部与一根连通管连通；正负压气源，连接连通管，使吸附孔产生负压，将软膜吸附固定在台阶面上。侧立面的横断面轮廓为圆角矩形。相邻吸附孔在台阶面上等间距分布。采用此实用新型对软膜的底部边沿利用负压吸附固定，紧固效果好，作用力柔和，保证位置精度，便于软膜在进行作业与周转工序。

技术领域

本实用新型涉及吸附载具领域，具体涉及一种软膜载具。

背景技术

纳米压印技术领域会应用到软膜，软膜自身材质柔软又具备一定弹性，在使用软膜时，压印的压力容易造成软膜变形，影响压印结构精度和模版图形对准精度。所以软膜需要在放在硬质的载盘上，同时载盘还要对软膜起到稳固的固定作用。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题在于提供一种软膜载具，对软膜的底部边沿利用负压吸附固定，紧固效果好，作用力柔和，保证位置精度，便于软膜在进行作业与周转工序。

为解决上述问题，本实用新型提供一种软膜载具，为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种软膜载具，包括：载盘，中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面，孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面，台阶面用于承载软膜；吸附孔，若干个吸附孔分布于台阶面上，吸附孔的底部与一根连通管连通；正负压气源，连接连通管，使吸附孔产生负压，将软膜吸附固定在台阶面上。

采用上述技术方案的有益效果是：正负压气源产生负压吸附力，对软膜的作用力比较温和，相比利用物理的夹持机构对软膜的直接接触，负压吸附对软膜的损伤少，软膜寿命加长。软膜沿着底部边沿一圈被牢牢固定，不会在移动过程中松脱。孔洞让出了软膜的大部分底平面，为后续的工序提供操作空间。侧立面限定了软膜水平方向上的移动自由度，确保软膜在周转过程中的位置精度。

作为本实用新型的进一步改进，侧立面的横断面轮廓为圆角矩形。

采用上述技术方案的有益效果是：圆角矩形的侧立面可以与软膜的边沿轮廓紧密贴合，确保软膜的位置精度。

作为本实用新型的更进一步改进，相邻吸附孔在台阶面上等间距分布。

采用上述技术方案的有益效果是：吸附孔以点连线，对软膜的底平面边沿起到密闭的吸附固定。

作为本实用新型的又进一步改进，连通管为闭环形状，且通过气嘴与正负压气源连接，气嘴为若干个，相邻气嘴之间的吸附孔数量相等。

采用上述技术方案的有益效果是：气嘴数量多保重众多的吸附孔的负压吸附力均一。

作为本实用新型的又进一步改进，连通管为闭环形状，且通过气嘴与正负压气源连接，气嘴为一个，且位于圆角矩形的一角。

采用上述技术方案的有益效果是：设在一角处的气嘴可以在当需要将软膜从载盘上剥离时的情况时，正负压气源产生正压，气嘴吹气，将软膜的一角吹翘起，方便人员拿取。共用一个气源，设备成本低。且由于吸附孔在吹气时气体一直是溢出的，所以远离一角处的其他吸附孔的正压出气力度锐减，确保只有软膜的一角翘起。

作为本实用新型的又进一步改进，吸附孔的长度方向与台阶面、侧立面的所在平面均呈角度设置，吸附孔与台阶面、侧立面均相交，台阶面的横断面轮廓尺寸大于软膜的平面尺寸。

采用上述技术方案的有益效果是：出于配合其他工序的需要，载盘中心有个大的孔洞，软膜会因为自重而在孔洞的位置有略微的下凹形变，但是斜向的吸附孔除了将软膜下表面牢牢吸附在台阶面上，吸附孔还具备水平方向的作用力，对软膜进行向四周方向的微量拉伸，将软膜吸附在侧立面上，对软膜实施一定的水平拉力，抵消软膜因自重而中心下沉的情况，给软膜一个预应力。