[实用新型]一种软膜载具有效
申请号: | 201820805770.7 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN208409657U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 刘晓成;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光越微纳科技有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;B29C59/02;B29L7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 徐典 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 软膜 吸附孔 孔洞 侧立面 连通管 台阶面 载具 本实用新型 等间距分布 横断面轮廓 横截面轮廓 正负压气源 垂直连接 底部边沿 负压吸附 紧固效果 上下贯通 吸附固定 圆角矩形 侧立 负压 载盘 连通 柔和 周转 承载 保证 | ||
1.一种软膜载具,其特征在于,包括:
载盘,中部具备上下贯通的孔洞和横截面轮廓大于孔洞的侧立面,所述孔洞与侧立面之间垂直连接有台阶面,所述台阶面用于承载软膜;
吸附孔,若干个吸附孔分布于台阶面上,所述吸附孔的底部与一根连通管连通;
正负压气源,连接连通管,使吸附孔产生负压,将软膜吸附固定在台阶面上。
2.根据权利要求1所述的一种软膜载具,其特征在于:所述侧立面的横断面轮廓为圆角矩形。
3.根据权利要求2所述的一种软膜载具,其特征在于:相邻吸附孔在台阶面上等间距分布。
4.根据权利要求3所述的一种软膜载具,其特征在于:所述连通管为闭环形状,且通过气嘴与正负压气源连接,所述气嘴为若干个,相邻气嘴之间的吸附孔数量相等。
5.根据权利要求3所述的一种软膜载具,其特征在于:所述连通管为闭环形状,且通过气嘴与正负压气源连接,所述气嘴为一个,且位于圆角矩形的一角。
6.根据权利要求3所述的一种软膜载具,其特征在于:所述吸附孔的长度方向与台阶面、侧立面的所在平面均呈角度设置,所述吸附孔与台阶面、侧立面均相交,所述台阶面的横断面轮廓尺寸大于软膜的平面尺寸。
7.根据权利要求3所述的一种软膜载具,其特征在于:所述台阶面上具备凹凸纹路,所述凹凸纹路的形状走势与侧立面的横断面轮廓为同心形状。
8.根据权利要求1所述的一种软膜载具,其特征在于:所述吸附孔与台阶面的交界处设有弹性垫圈,所述弹性垫圈凸出于台阶面表面。
9.根据权利要求8所述的一种软膜载具,其特征在于:所述弹性垫圈材质为硅胶。
10.根据权利要求1所述的一种软膜载具,其特征在于:所述孔洞一端与台阶面相交,另一端与载盘相交的平面为载盘的底平面,所述吸附孔为贯穿台阶面、底平面的通孔,所述连通管位于载盘外部。
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