[实用新型]单面制绒花篮及单面制绒装置有效
| 申请号： | 201820805246.X | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208271855U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 苏晓东;方亮 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215104 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单面制绒花篮及单面制绒装置，所述单面制绒花篮包括平行设置的支撑杆、以及固定安装于支撑杆之间的若干连接板，所述支撑杆内设有第一气道，连接板内设有第二气道，所述第一气道和第二气道相连通设置，且第二气道延伸至连接板的表面。本实用新型中的单面制绒花篮及单面制绒装置结构简单、控制方便，通过控制气道内的负压气压即可实现硅片与连接板的贴附，从而实现硅片的单面制绒，大幅提高了产能，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单面制绒 气道 连接板 支撑杆 花篮 本实用新型 硅片 控制方便 控制气道 平行设置 装置结构 产能 负压 贴附 气压 生产成本 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种单面制绒花篮，其特征在于，所述单面制绒花篮包括平行设置的支撑杆、以及固定安装于支撑杆之间的若干连接板，所述支撑杆内设有第一气道，连接板内设有第二气道，所述第一气道和第二气道相连通设置，且第二气道延伸至连接板的表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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