[实用新型]晶片检测旋转样品台

摘要

晶片检测旋转样品台，包括轴承座、中轴和中轴转动机构。中轴通过安装在轴承座上的中轴轴承支撑。中轴的左端头内孔装有编码器输入轴。中轴的左侧设有中轴的中轴转动机构。中轴开设有中轴气孔，中轴右侧的贴片板与中轴右端头固定连接。贴片板气孔与中轴气孔连通。中轴转动机构包括步进电机、蜗杆和蜗轮。本检测旋转样品台就是利用晶体晶向的X射线衍射技术，进行单晶晶片的晶向定向复检及晶体缺陷复检测试，填补了单晶晶体晶片的高精度晶向定向复检及晶体缺陷精确复检的技术空白。可以开发不同单晶晶体晶片的晶向定向复检及晶体缺陷复检使用功能，提高单晶晶体晶片的晶向定向复检检测精度、晶体缺陷复检精度及复检范围。

主权项

1.晶片检测旋转样品台，包括轴承座（1）、中轴（3）和中轴转动机构；其特征在于：横向设置的中轴（3）通过安装在轴承座（1）上的中轴轴承（5）支撑；中轴（3）的左端头内孔装有编码器（8）输入轴；中轴（3）的左侧设有中轴（3）的中轴转动机构；中轴（3）开设有中轴气孔（28），中轴（3）右侧的贴片板（16）与中轴（3）右端头固定连接；贴片板（16）气孔与中轴气孔（28）连通。