[实用新型]一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820779641.5 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN208328091U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 裴凤巍;赵子仪;张金中;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统和蒸镀设备。蒸发源包括坩埚本体和盖合在所述坩埚本体的第一端面上的端盖，所述端盖上设置有用于蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的出射口，其特征在于，所述坩埚本体的第二端面的横截面积小于所述第一端面的横截面积，所述第二端面为与所述第一端面相对的端面。该蒸发源通过将坩埚本体的第二端面的横截面积设置为小于第一端面的横截面积，降低了蒸镀材料的使用量和蒸镀材料余留量，降低了对蒸镀材料的浪费，降低了蒸镀的生产成本。组合蒸发源、蒸发源系统和蒸镀设备均包括该蒸发源。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 坩埚本体 蒸镀材料 蒸镀设备 端盖 本实用新型 端面相对 出射口 盖合 蒸镀 生产成本 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，包括坩埚本体和盖合在所述坩埚本体的第一端面上的端盖，所述端盖上设置有用于蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的出射口，其特征在于，所述坩埚本体的第二端面的横截面积小于所述第一端面的横截面积，所述第二端面为与所述第一端面相对的端面。
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