[实用新型]一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门

摘要

本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，转动套内腔套设有连接轴，连接轴与闭合门固定连接，闭合门的侧壁开设有拼装门槽，拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，拼装门的内腔安装有弧源，拼装门的上下壁均开设有矩形槽，矩形槽内固定设置有卡块，本实用新型通过便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。

主权项

1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机(1)、底座(2)、冷却腔(3)和闭合门(4)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)的侧壁固定设置有转动套(5)，所述转动套(5)内腔套设有连接轴(6)，所述连接轴(6)与闭合门(4)固定连接，所述闭合门(4)的侧壁开设有拼装门槽(7)，所述拼装门槽(7)的内壁均设置有两组挡板(8)，所述拼装门槽(7)的内腔活动安装有拼装门(9)，所述拼装门(9)的内腔安装有弧源(10)，所述拼装门(9)的上下壁均开设有矩形槽(11)，所述矩形槽(11)内固定设置有卡块(12)，所述拼装门槽(7)的上下壁开设有弧形槽(13)，所述弧形槽(13)内转动连接有活动轴(14)，所述活动轴(14)的外壁固定设置有上合板(15)和下合板(16)，所述上合板(15)和下合板(16)与卡块(12)相互配合。