[实用新型]一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门

说明书

本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，转动套内腔套设有连接轴，连接轴与闭合门固定连接，闭合门的侧壁开设有拼装门槽，拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，拼装门的内腔安装有弧源，拼装门的上下壁均开设有矩形槽，矩形槽内固定设置有卡块，本实用新型通过便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备，弧源是嵌入在机器上无法拆卸，一旦位置安装错误整个机器可能造成报废，而且由于是内嵌固定在镀膜机上，弧源的数量、位置都不能改变，无法达到一机多用的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率。因此我们对此做出改进，提出一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。

基于此，本实用新型设计了一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，以解决上述背景技术中提出的通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备，弧源是嵌入在机器上无法拆卸，一旦位置安装错误整个机器可能造成报废，而且由于是内嵌固定在镀膜机上，弧源的数量、位置都不能改变，无法达到一机多用的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，所述真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，所述转动套内腔套设有连接轴，所述连接轴与闭合门固定连接，所述闭合门的侧壁开设有拼装门槽，所述拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，所述拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，所述拼装门的内腔安装有弧源，所述拼装门的上下壁均开设有矩形槽，所述矩形槽内固定设置有卡块，所述拼装门槽的上下壁开设有弧形槽，所述弧形槽内转动连接有活动轴，所述活动轴的外壁固定设置有上合板和下合板，所述上合板和下合板与卡块相互配合。

优选的，所述活动轴贯穿闭合门的侧壁固定设置有旋钮。

优选的，所述拼装门的外壁固定安装有第一把手。

优选的，所述闭合门的侧壁固定安装第二把手。

优选的，所述真空镀膜机与闭合门连接处设置有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过转动套和连接轴的配合，便于闭合门的开启的转动，通过在闭合门的侧壁开设有拼装门槽，安装拼装门，通过挡板的设置，起到给拼装门限位的作用，通过手动转动旋钮，通过旋钮带动活动轴的转动，通过活动轴带动上合板和下合板与矩形槽内腔的卡块配合，起到固定拼装门的位置，通过第一把手和第二把手的设置，便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型主视角结构示意图；