[实用新型]一种OLED蒸镀掩模板有效
| 申请号： | 201820736201.1 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208250401U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王德维 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种OLED蒸镀掩模板，其包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔；所述蒸镀掩模板具有朝向OLED玻璃基板一侧的正面和朝向蒸镀源一侧的背面，在所述蒸镀孔正面边缘蚀刻出凹槽实现在所述蒸镀孔和掩模板本体正面之间形成一台阶面，所述掩模板本体除台阶面外的正面为与所述OLED玻璃基板接触的接触面。通过在蒸镀掩模板增设台阶面，在和蒸镀掩模板与隔离柱可能接触的位置蚀刻出台阶空隙，会有效防止20μm以下的颗粒及毛刺导致对位过程中对基板镀膜面、隔离柱的划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 蒸镀 台阶面 蚀刻 隔离柱 本实用新型 毛刺 对位过程 正面边缘 镀膜面 对基板 蒸镀源 划伤 背面 增设 | ||
【主权项】：
1.一种OLED蒸镀掩模板，其特征在于，其包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔；所述蒸镀掩模板具有朝向OLED玻璃基板一侧的正面和朝向蒸镀源一侧的背面，在所述蒸镀孔正面边缘蚀刻出凹槽实现在所述蒸镀孔和掩模板本体正面之间形成一台阶面，所述掩模板本体除台阶面外的正面为与所述OLED玻璃基板接触的接触面。
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