[实用新型]一种OLED蒸镀掩模板

说明书

本实用新型涉及一种OLED蒸镀掩模板，其包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔；所述蒸镀掩模板具有朝向OLED玻璃基板一侧的正面和朝向蒸镀源一侧的背面，在所述蒸镀孔正面边缘蚀刻出凹槽实现在所述蒸镀孔和掩模板本体正面之间形成一台阶面，所述掩模板本体除台阶面外的正面为与所述OLED玻璃基板接触的接触面。通过在蒸镀掩模板增设台阶面，在和蒸镀掩模板与隔离柱可能接触的位置蚀刻出台阶空隙，会有效防止20μm以下的颗粒及毛刺导致对位过程中对基板镀膜面、隔离柱的划伤。

技术领域

本实用新型涉及OLED生产制程夹具技术领域，具体涉及一种OLED蒸镀掩模板。

背景技术

目前常规OLED蒸镀制程中蒸镀掩模(mask)和镀膜基板的接触是无间距接触的，掩模表面沉积颗粒或掩模表面的毛刺在基板对位移动对会膜层形成刺伤，导致一定比例膜层缺陷；产品就会表现出串笔、显示黑点等不良。鉴于因蒸镀掩模mask原因导致的膜层缺陷比例较高，OLED器件基板镀膜前已做好PI绝缘层和隔离柱。蒸镀前玻璃基板需要和mask套合对位，对位过程中，mask上面残留的颗粒或毛刺(φ＜5μm)会导致隔离柱(Rib)刺伤；颗粒或毛刺(φ＞5μm)会导致膜层划伤，对应产品就会表现出串笔、显示黑点不良现象。

实用新型内容

本实用新型为克服上述现有技术所述的至少一种缺陷，提供一种OLED蒸镀掩模板，通过在蒸镀掩模板增设台阶面，在和蒸镀掩模板与隔离柱可能接触的位置蚀刻出台阶空隙，会有效防止20μm以下的颗粒及毛刺导致对位过程中对基板镀膜面、隔离柱的划伤。

一种OLED蒸镀掩模板，其包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔；所述蒸镀掩模板具有朝向OLED玻璃基板一侧的正面和朝向蒸镀源一侧的背面，在所述蒸镀孔正面边缘蚀刻出凹槽实现在所述蒸镀孔和掩模板本体正面之间形成一台阶面，所述掩模板本体除台阶面外的正面为与所述OLED玻璃基板接触的接触面。

作为本实用新型提供的OLED蒸镀掩模板的一种改进，所述台阶面比所述接触面低10- 30μm。

作为本实用新型提供的OLED蒸镀掩模板的一种改进，所述台阶面宽度为100-500μm。

作为本实用新型提供的OLED蒸镀掩模板的一种改进，所述OLED玻璃基板其表面形成有多个发光器件层及用于间隔相邻所述发光器件层的间隔组件，所述间隔组件包括形成在所述OLED玻璃基板上的绝缘层和形成在所述绝缘层上的若干隔离柱。

作为本实用新型提供的OLED蒸镀掩模板的一种改进，所述绝缘层厚度为1-2μm。

作为本实用新型提供的OLED蒸镀掩模板的一种改进，所述隔离柱的厚度为3-4μm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在蒸镀掩模板增设台阶面，在和蒸镀掩模板与隔离柱可能接触的位置蚀刻出台阶空隙，有效防止20μm以下的颗粒及毛刺导致对位过程中对基板镀膜面、隔离柱的划伤。

附图说明

图1为本实用新型的OLED玻璃基板与蒸镀掩模板对位结构示意图；

图2为本实用新型的OLED玻璃基板与蒸镀掩模板对位完成后结构示意图；

图3为本实用新型的OLED玻璃基板与蒸镀掩模板对位完成后又一结构示意图；

图4为本实用新型蒸镀掩模板的结构示意图；

图5为本实用新型蒸镀掩模板的另一结构示意图。

具体实施方式