[实用新型]一种OLED蒸镀掩模板有效
| 申请号： | 201820736201.1 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208250401U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王德维 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模板 蒸镀 台阶面 蚀刻 隔离柱 本实用新型 毛刺 对位过程 正面边缘 镀膜面 对基板 蒸镀源 划伤 背面 增设 | ||
【权利要求书】：
1.一种OLED蒸镀掩模板，其特征在于，其包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔；所述蒸镀掩模板具有朝向OLED玻璃基板一侧的正面和朝向蒸镀源一侧的背面，在所述蒸镀孔正面边缘蚀刻出凹槽实现在所述蒸镀孔和掩模板本体正面之间形成一台阶面，所述掩模板本体除台阶面外的正面为与所述OLED玻璃基板接触的接触面。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀掩模板，其特征在于，所述台阶面比所述接触面低10-30μm。
3.根据权利要求1或2所述的OLED蒸镀掩模板，其特征在于，所述台阶面宽度为100-500μm。
4.根据权利要求1或2所述的OLED蒸镀掩模板，其特征在于，所述OLED玻璃基板其表面形成有多个发光器件层及用于间隔相邻所述发光器件层的间隔组件，所述间隔组件包括形成在所述OLED玻璃基板上的绝缘层和形成在所述绝缘层上的若干隔离柱。
5.根据权利要求4所述的OLED蒸镀掩模板，其特征在于，所述绝缘层厚度为1-2μm。
6.根据权利要求5所述的OLED蒸镀掩模板，其特征在于，所述隔离柱的厚度为3-4μm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利半导体有限公司，未经信利半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820736201.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
