[实用新型]一种多源溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201820718669.8 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN208279681U | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 赵卓;周艳文;佟欣儒;武俊生;孟见成;陈雪娇;张晶;康红伟;全书仪;方方;张豫坤 | 申请（专利权）人： | 辽宁科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人： | 张群 |
| 地址： | 114044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多源溅射镀膜装置，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。优点是：该装置整体结构简单，利用传动机构可实现靶面窗口的对向开合，配合相对设置的多个溅射靶，实现混合溅射多种薄膜材料的薄膜制备，还可按需求通过依次拉开靶面窗口的方式实现逐层选取不同靶材依次溅射薄膜，提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶 靶面 筒形外壳 工件架 热丝 溅射镀膜装置 相对设置 对向 多源 溅射 开合 本实用新型 薄膜材料 薄膜制备 镀膜效率 轨道 靶材 薄膜 配合 | ||
【主权项】：
1.一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。
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