[实用新型]一种多源溅射镀膜装置

说明书

本实用新型涉及一种多源溅射镀膜装置，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。优点是：该装置整体结构简单，利用传动机构可实现靶面窗口的对向开合，配合相对设置的多个溅射靶，实现混合溅射多种薄膜材料的薄膜制备，还可按需求通过依次拉开靶面窗口的方式实现逐层选取不同靶材依次溅射薄膜，提高镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜领域，尤其涉及一种多源溅射镀膜装置。

背景技术

随着工业的发展，汽车、航空航天等领域跨越式进步，相关材料、工具及零配件等多领域对表面镀膜工艺的需求愈发明显，工艺要求越来越高。

薄膜的制备不仅局限于外观的美化，更着重于器件性能的提高、寿命的延长，溅射镀膜作为薄膜制备的重要手段，其设备的结构设计及工艺参数的调整不断改进。

传统溅射镀膜设备大多为单靶或双靶结构，靶材选择具有局限性，薄膜材料单一，薄膜制备效率低。

发明内容

为克服现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种多源溅射镀膜装置，可溅射多种薄膜材料，能够同时或依次选择不同靶材制备薄膜。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种多源溅射镀膜装置，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。

所述的传动机构包括齿轮、齿条、走行轮，走行轮固定在靶面窗口上，走行轮与轨道滚动连接，齿条固定在靶面窗口底部，齿条与齿轮相互啮合，齿轮与摇把固定连接。

所述的摇把与筒形外壳通过密封式轴承连接。

所述的溅射靶在筒形外壳成圆周均布。

所述的溅射靶为4个以上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

多源溅射镀膜装置整体结构简单，利用传动机构可实现靶面窗口的对向开合，配合相对设置的多个溅射靶，实现混合溅射多种薄膜材料的薄膜制备，还可按需求通过依次拉开靶面窗口的方式实现逐层选取不同靶材依次溅射薄膜，提高镀膜效率；可实现溅射一种靶材的同时，保证不掺杂其他靶材杂质。采用推拉方式，开合占地空间小，有效防止靶面窗口开合过程中与筒形外壳内工件的刮碰。热丝起到增加等离子体离化率的作用，提高了靶材溅射效率，提高薄膜制备效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是传动机构的结构示意图。

图中：1-靶面窗口 2-筒形外壳 3-溅射靶 4-工件架 5-热丝 6-轨道 7-齿轮 8-齿条 9-走行轮。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型进行详细地描述，但是应该指出本实用新型的实施不限于以下的实施方式。

见图1、图2，一种多源溅射镀膜装置，包括靶面窗口1、溅射靶3、筒形外壳2、传动机构、工件架4、热丝5，溅射靶3相对设置在筒形外壳2上，筒形外壳2的中间固定有工件架4，溅射靶3与工件架4之间设有热丝5，热丝5与溅射靶3之间设有靶面窗口1，筒形外壳2内设有轨道6，靶面窗口1通过传动机构可在轨道6上对向开合；靶面窗口1与溅射靶3相对应，当靶面窗口1关闭时，能够将溅射靶3完全遮挡；当靶面窗口1打开时，能够将溅射靶3完全裸露。