[实用新型]一种多源溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201820718669.8 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN208279681U | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 赵卓;周艳文;佟欣儒;武俊生;孟见成;陈雪娇;张晶;康红伟;全书仪;方方;张豫坤 | 申请（专利权）人： | 辽宁科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人： | 张群 |
| 地址： | 114044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射靶 靶面 筒形外壳 工件架 热丝 溅射镀膜装置 相对设置 对向 多源 溅射 开合 本实用新型 薄膜材料 薄膜制备 镀膜效率 轨道 靶材 薄膜 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。
2.根据权利要求1所述的一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，所述的传动机构包括齿轮、齿条、走行轮，走行轮固定在靶面窗口上，走行轮与轨道滚动连接，齿条固定在靶面窗口底部，齿条与齿轮相互啮合，齿轮与摇把固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，所述的摇把与筒形外壳通过密封式轴承连接。
4.根据权利要求1所述的一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，所述的溅射靶在筒形外壳成圆周均布。
5.根据权利要求1所述的一种多源溅射镀膜装置，其特征在于，所述的溅射靶为4个以上。
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