[实用新型]一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置有效
| 申请号： | 201820702717.4 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208155902U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 严春莲;崔桂彬;其其格;任群;孟杨;鞠新华 | 申请（专利权）人： | 首钢集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人： | 王普玉 |
| 地址： | 100041 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置，属于实验设备制造技术领域。包括样品座主体、垫片、圆柱弹簧和螺丝；样品座主体上部有水平卡槽，槽内放置垫片，底部有圆坑，圆柱弹簧放置在圆坑内，圆坑底面中心开孔，有内螺纹，与螺丝配合连接。优点在于，操作简单，彻底解决了切割加工、制备不当等造成的试样检测面倾斜问题，确保了扫描电镜夹杂物自动统计分析的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 夹杂物统计分析 样品座主体 圆柱弹簧 样品座 垫片 圆坑 螺丝配合 切割加工 倾斜问题 实验设备 试样检测 水平卡槽 中心开孔 自动统计 夹杂物 坑底面 内螺纹 螺丝 制备 制造 分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置，其特征在于，包括样品座主体(2)、垫片(3)、圆柱弹簧(4)和螺丝(5)；样品座主体(2)上部有水平卡槽，槽高1～2mm，槽内放置垫片(3)，样品座主体(2)底部有直径为10mm的圆坑，圆柱弹簧(4)放置在圆坑内，圆坑底面中心开孔，有内螺纹，与螺丝(5)配合连接，样品座主体(2)下部支撑柱与扫描电镜的样品台紧密接触。
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