[实用新型]一种传感器调节装置及腔室有效
| 申请号： | 201820677510.6 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208579775U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李冰;赵康宁 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00;G01D11/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的传感器调节装置及腔室，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，传感器与所述滑块连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。本实用新型提供一种调节方式简便，且传感器位置不会发生偏离的传感器调节装置及腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 滑块 传感器调节 导轨 腔室 本实用新型 滑动 底座 传感器位置 导轨连接 导轨水平 预定位置 传感器 偏离 锁定 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种传感器调节装置，其特征在于，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。
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