[实用新型]一种传感器调节装置及腔室

权利要求书

1.一种传感器调节装置，其特征在于，包括：

底座；

导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；

滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；

调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。

2.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述调节机构包括螺钉，所述螺钉水平设置在所述底座上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在所述滑块中设置有螺纹孔，所述螺钉与所述螺纹孔相配合；通过顺时针或逆时针旋转所述螺钉，以使所述滑块相对于所述螺钉滑动。

3.根据权利要求2所述的传感器调节装置，其特征在于，在所述底座中设置有安装孔，用于容纳所述螺钉的一部分，并限定所述螺钉的径向位置。

4.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述导轨包括：与所述底座固定的固定部和可相对于所述固定部滑动的滑动部，所述滑动部与所述滑块连接。

5.根据权利要求4所述的传感器调节装置，其特征在于，所述固定部为轨道，所述滑动部位于所述轨道的一侧，且能够沿所述轨道滑动；或者，所述固定部为柱状滑轨，所述滑动部为套设在所述柱状滑轨上的环体，所述环体能够沿所述柱状滑轨滑动，且与所述滑块连接。

6.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，还包括：弹簧，所述弹簧的轴线与所述导轨的延伸方向平行，且所述弹簧的一端与所述底座连接，所述弹簧的另一端与所述滑块连接；所述弹簧用于对所述滑块施加与所述滑块的运动方向相反的作用力。

7.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述滑块用于连接至少一个所述传感器。

8.一种腔室，包括反应腔、容纳腔、遮蔽盘、托架、传感器和传感器调节装置，其中，在所述反应腔中设置有基座，所述容纳腔与所述反应腔连通，所述托架用于承载所述遮蔽盘，并能够带动所述遮蔽盘旋转至覆盖所述基座的位置或者所述容纳腔中，所述传感器调节装置设置在靠近所述容纳腔的侧壁的位置处，用于调节所述传感器的水平位置，其特征在于，所述传感器调节装置采用权利要求1-7任意一项所述的传感器调节装置。

9.根据权利要求8所述的一种腔室，其特征在于，在所述容纳腔的底壁中设置有透光窗，所述传感器和传感器调节装置设置在所述容纳腔的下方，且与所述透光窗相对应的位置处。

10.根据权利要求9所述的一种腔室，其特征在于，所述底座包括第一连接板和第二连接板，其中，所述第一连接板与所述容纳腔的底壁固定连接，且与所述底壁相互垂直；所述第二连接板与所述透光窗相互平行，且与所述第一连接板固定连接；所述导轨固定在所述第二连接板上。