[实用新型]一种晶舟盒微污染检测设备

摘要

本实用新型公开了一种晶舟盒微污染检测设备，用以检测晶圆搬运盒，包括承载座、第一气体供应模块、第一检测器、第一通道、以及第二气体供应模块。承载座设有第一通孔和第二通孔。第一气体供应模块连接第一通孔。第一通道连接第二通孔与第一检测器。当晶圆搬运盒设置在承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体通过晶圆搬运盒进入第一检测器，第二气体供应模块提供第二气体进入第一检测器。当晶圆搬运盒由承载座上去除时，第一气体供应模块停止供应第一气体，第二气体通过第一通道并由第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。该实用新型具有实时监控、检测时间短、检测效率高的特点。

主权项

1.一种晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，包括：承载座，具有第一通孔和第二通孔；第一气体供应模块，连接所述第一通孔；第一检测器；第一通道，连接所述第二通孔与所述第一检测器；第二气体供应模块，连接所述第一通道；感测组件，电性连接所述承载座及所述第一气体供应模块，当晶圆搬运盒设置于所述承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体由所述第一通孔进入晶圆搬运盒，并由所述第二通孔离开晶圆搬运盒，接着通过所述第一通道进入所述第一检测器，且所述第二气体供应模块提供第二气体通过所述第一通道进入所述第一检测器，当晶圆搬运盒从所述承载座上去除时，感测组件传送信号至所述第一气体供应模块使所述第一气体供应模块停止供应所述第一气体，所述第二气体供应模块提供的所述第二气体通过所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。