[实用新型]一种晶舟盒微污染检测设备

权利要求书

1.一种晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，包括：

承载座，具有第一通孔和第二通孔；

第一气体供应模块，连接所述第一通孔；

第一检测器；

第一通道，连接所述第二通孔与所述第一检测器；

第二气体供应模块，连接所述第一通道；

感测组件，电性连接所述承载座及所述第一气体供应模块，当晶圆搬运盒设置于所述承载座上时，第一气体供应模块提供第一气体由所述第一通孔进入晶圆搬运盒，并由所述第二通孔离开晶圆搬运盒，接着通过所述第一通道进入所述第一检测器，且所述第二气体供应模块提供第二气体通过所述第一通道进入所述第一检测器，当晶圆搬运盒从所述承载座上去除时，感测组件传送信号至所述第一气体供应模块使所述第一气体供应模块停止供应所述第一气体，所述第二气体供应模块提供的所述第二气体通过所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染检测设备。

2.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括：

主通道，连接所述第二通孔和所述第一通道；

第二检测器；

第二通道，连接所述主通道和所述第二检测器，所述第二气体供应模块连接所述第二通道。

3.如权利要求2所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于：还包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述第一电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第一通道之间，且所述第二电磁阀设置于所述第二气体供应模块和所述第二通道之间。

4.如权利要求2所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括：

主电磁阀；连接所述主通道与所述第一通道；

第一连接管，连接所述第二通孔与所述主电磁阀；

第二连接管，其中所述承载座还包括第三通孔和第四通孔，所述第三通孔连接所述第一气体供应模块，且所述第二连接管连接所述第四通孔与所述主电磁阀。

5.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括排气通道，连接所述第一检测器与外部环境。

6.如权利要求5所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括泵，设置于所述排气通道或所述第一通道内。

7.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，还包括壳体和气体分析组件，所述第一气体供应模块、所述第一检测器、所述第一通道、所述第二气体供应模块、所述感测组件以及所述气体分析组件设置于所述壳体内，且所述承载座凸出于所述壳体表面，其中所述气体分析组件用以测量所述壳体内的气体浓度或成分。

8.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，所述第一气体供应模块包括质流控制器。

9.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，所述第一气体包括氮气，第二气体包括干燥干净气体。

10.如权利要求1所述的晶舟盒微污染检测设备，其特征在于，所述第一检测器包括离子电泳光谱分析仪、光游离侦测器、氟化氢气体分析仪或飞行时间质谱仪。