[实用新型]内衬及反应腔室有效
| 申请号： | 201820546055.6 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN208136325U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 赵康宁 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供的内衬及反应腔室，内衬包括环形本体以及设置在环形本体的外周壁上的凸缘，环形本体具有冷却通道，且在凸缘中设置有与冷却通道相连通的出口通道和入口通道。通过将冷却通道直接设置在环形本体中，使得冷却通道能够直接对内衬进行冷却，从而提高冷却效率。进一步地，将出口通道和入口通道设置在与腔体接触的凸缘上，避免冷却通道、出口通道和入口通道在反应腔室内产生漏水，更进一步地，即便当出口通道和入口通道处出现漏水问题，由于出口通道和入口通道位于反应腔室的侧壁上，因此，漏水问题能够及时的被使用者发现，进而避免对腔室内造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 出口通道 冷却通道 入口通道 环形本体 反应腔室 内衬 凸缘 漏水问题 室内 本实用新型 冷却效率 直接设置 反应腔 外周壁 侧壁 漏水 腔体 冷却 发现 | ||
【主权项】：
1.一种内衬，其特征在于，所述内衬包括环形本体，在所述环形本体的外周壁上设置有凸缘；所述环形本体具有冷却通道，且在所述凸缘中设置有与所述冷却通道相连通的出口通道和入口通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820546055.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空镀膜装置
- 下一篇：一种霍尔离子源气路结构
- 同类专利
- 专利分类
