[实用新型]用于制备钙钛矿层的装置

摘要

本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种用于制备钙钛矿层的装置，其包括：反应室；加热机构，承载并加热涂布后的基片；真空腔，使反应室真空；真空阀，关断真空腔；钝化气储罐，用于向反应室中输入钝化气；钝化气阀，关断钝化气储罐；钝化气排出机构，用于排出反应室中的钝化气；以及控制单元。上述用于制备钙钛矿层的装置，采用真空腔作用于反应室，可以快速使反应腔压强降低，从而提高钙钛矿层的均一性以及致密性；同时，在结晶之后，用钝化气处理，使钙钛矿薄膜表面得到修饰，进一步减少钙钛矿层的表面缺陷态。另外，在钝化操作过程中，钝化气密封于反应腔内，有助于提高钝化效果以及钝化气的利用率，同时亦避免钝化气对操作人员的伤害。

主权项

1.一种用于制备钙钛矿层的装置，其特征在于，包括：反应室；加热机构，位于所述反应室内，且用于承载并加热涂布后的基片；真空腔，与所述反应室连通，以使所述反应室真空；真空阀，设置于所述真空腔与所述反应室之间；钝化气储罐，与所述反应室相连，且用于向所述反应室中输入钝化气；钝化气阀，设置于所述钝化气储罐与所述反应室之间；钝化气排出机构，与所述反应室相连，且用于排出所述反应室中的钝化气；以及控制单元，用于控制所述真空阀、所述钝化气阀、以及所述加热机构。