[实用新型]一种晶圆处理预对准平台

摘要

本实用新型公开了一种晶圆处理预对准平台，包括固定支架、承片台、真空破坏电磁阀、气管接头、光学单元连接座、数显气压表、直线运动模块、旋转吸附模块、光学模块和承接吸附模块，本实用新型没有X方向移动单元，直线运动模块由Y向移动子模块和Z向移动子模块构成一个整体，Y方向移动部件作为Z结构底板，减小了结构尺寸、提高整体刚度，Z方向移动结构可由Y方向移动结构带动整体延Y方向移动，Z向移动子单元是由在Z向伺服电机和Z向移动用丝杠组件的作用下带动沿Y方向运动的楔形块转换而来的，可以有效减小预对准单元在Z方向的尺寸，使得本装置对准精度较高且结构紧凑，节省空间，进而使得成本大大降低。

主权项

1.一种晶圆处理预对准平台，包括固定支架(1)、承片台(2)、真空破坏电磁阀(9)、气管接头(31)、光学单元连接座(32)、数显气压表(33)、直线运动模块、旋转吸附模块、光学模块和承接吸附模块，其特征在于：所述固定支架(1)顶部设置有腰形孔，承片台(2)设置在腰形孔顶部；所述承接吸附模块固定在固定支架(1)顶部；所述直线运动模块设置在固定支架(1)底部；所述旋转吸附模块设置在直线运动模块顶部；所述光学单元连接座(32)设置在固定支架(1)内部右侧；所述光学模块设置在光学单元连接座(32)上；所述气管接头(31)和数显气压表(33)设置在固定支架(1)侧面；所述真空破坏电磁阀(9)设置在固定支架(1)内部。