[实用新型]基于CMOS的光电加速度传感器有效
| 申请号： | 201820467232.1 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208188151U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 陆颢瓒;戴瑞萍;宁楠楠;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器，采用MEMS平面加工，该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板，X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y（X）轴运动时，Y（X）向遮光板产生的条纹位置会产生变化，同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移，即可得到Y（X）轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动，X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化，通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本实用新型的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度，具有精度高、灵敏度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 遮光板 加速度传感器 本实用新型 光电阵列 条纹位置 条纹 光照 二进制数 光敏元件 光线透过 平面加工 平行光源 灵敏度 轴运动 短波 多位 刻蚀 | ||
【主权项】：
1.基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器的结构从上往下依次由短波平行光源、Y向遮光板、X向遮光板和CMOS光电阵列组成；所述Y向遮光板上刻蚀出若干条等宽且平行于X轴的长条用于透光，并通过支撑梁在X轴方向上被固定；所述X向遮光板上刻蚀出若干条等长且平行于Y轴的长条用于透光，并通过支撑梁在Y轴方向上被固定；所述CMOS光电阵列主要由单色CMOS光点传感器组成。
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